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プラズマプロセス技術 利用可

プラズマ・核融合学会／編 -- 森北出版 -- 2017.1 -- 501.4

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所蔵館 場所 棚番号 請求記号 資料コード 貸出利用 状態
本館 ４階自然 Map 1 /501.4/ﾌﾗ/1133174 1111331740 閲可 貸可 協可 －

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タイトル プラズマプロセス技術
副書名 ナノ材料作製・加工のためのアトムテクノロジー
著者 プラズマ・核融合学会 ／編  
出版地 東京
出版者 森北出版
出版年 2017.1
ページ数 7,273p
大きさ 22cm
一般件名 材料科学 , プラズマ物理学
内容紹介 超微細エッチング、プラズマCVD成膜、ナノ材料・構造の創製…。プラズマとそれによる材料プロセスについて、従来の技術を体系的に記述するとともに、最新の研究や技術についてまとめる。
ISBN13桁 978-4-627-77561-9 国立国会図書館 カーリル GoogleBooks WebcatPlus
分類番号 501.4

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