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薄膜工学 利用可

日本学術振興会薄膜第131委員会／編集企画 -- 丸善出版 -- 2016.11 -- 549.8

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所蔵館 場所 棚番号 請求記号 資料コード 貸出利用 状態
本館 書庫２上 Map B/549.8/ﾊｸ/1130639 1111306390 閲可 貸可 協可 －

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タイトル 薄膜工学
著者 日本学術振興会薄膜第131委員会 ／編集企画, 金原 粲 ／監修, 吉田 貞史 ／編著, 近藤 高志 ／編著  
出版地 東京
出版者 丸善出版
出版年 2016.11
ページ数 10,302p
大きさ 21cm
版表示 第3版
一般件名 薄膜
内容紹介 薄膜分野に携わる研究者・技術者に最適な、基本技術の解説書。薄膜工学の基礎から、薄膜作製法、評価法、薄膜の機能と応用までをまとめる。近年広がりをみせる薄膜技術に対応するため、大幅な改訂を行った第3版。
ISBN13桁 978-4-621-30098-5 国立国会図書館 カーリル GoogleBooks WebcatPlus
分類番号 549.8

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