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よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み 利用可

佐藤 淳一／著 -- 秀和システム -- 2016.8 -- 549.8

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本館 書庫２上 Map B/549.8/ｻﾄ/1125869 1111258695 閲可 貸可 協可 －

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タイトル よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み
副書名 製造装置の全体を俯瞰する
叢書名 図解入門
叢書副書名 How‐nual
著者 佐藤 淳一 ／著  
出版地 東京
出版者 秀和システム
出版年 2016.8
ページ数 259p
大きさ 21cm
版表示 第2版
一般件名 半導体
内容紹介 洗浄・乾燥装置、イオン注入装置、熱処理装置など、半導体製造装置の構造・構成から検査・測定・解析装置までを、豊富なイラストを交え、現場に近い視点から解説する。
ISBN13桁 978-4-7980-4726-3 国立国会図書館 カーリル GoogleBooks WebcatPlus
分類番号 549.8

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