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これからのMEMS 利用可

江刺 正喜／共著 -- 森北出版 -- 2016.6 -- 530

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所蔵館 場所 棚番号 請求記号 資料コード 貸出利用 状態
本館 ４階自然 Map 6 /530/ｴｻ/1127856 1111278562 閲可 貸可 協可 －

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タイトル これからのMEMS
副書名 LSIとの融合
著者 江刺 正喜 ／共著, 小野 崇人 ／共著  
出版地 東京
出版者 森北出版
出版年 2016.6
ページ数 5,151p
大きさ 22cm
一般件名 マイクロマシン
内容紹介 最先端技術MEMS(微小電気機械システム)の世界的権威である著者が、これまで不可能とされた「ヘテロ集積化技術」を中心に、MEMSの今後の開発促進や有効利用について解説する。「はじめてのMEMS」の続編。
ISBN13桁 978-4-627-77551-0 国立国会図書館 カーリル GoogleBooks WebcatPlus
分類番号 530

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