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ナノインプリント技術
利用可
松井 真二/編著 -- 電子情報通信学会 -- 2014.3 -- 549
SDI
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所蔵館
場所
棚番号
請求記号
資料コード
貸出利用
状態
本館
4階自然
Map
9
/549/ナノ/1082133
1110821334
閲可 貸可 協可
-
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資料詳細
タイトル
ナノインプリント技術
著者
松井 真二
/編著,
平井 義彦
/編著,
電子情報通信学会
/編
出版地
東京
出版者
電子情報通信学会
出版年
2014.3
ページ数
10,265p
大きさ
21cm
一般件名
ナノインプリント
内容紹介
ナノインプリントの基礎とともに、最新のナノインプリント装置と関連部材、多様なデバイス応用、評価・測定技術、展望などをわかりやすく解説する。
ISBN13桁
978-4-88552-285-7
分類番号
549
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関連メディア
/T170P55044
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