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半導体・電子材料分析 利用可

日本分析化学会／編 -- 丸善出版 -- 2013.7 -- 549.8

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所蔵館 場所 棚番号 請求記号 資料コード 貸出利用 状態
本館 ４階自然 Map 9 /549.8/ﾊﾝ/1069467 1110694670 閲可 貸可 協可 －

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タイトル 半導体・電子材料分析
叢書名 試料分析講座
著者 日本分析化学会 ／編  
出版地 東京
出版者 丸善出版
出版年 2013.7
ページ数 21,300p
大きさ 21cm
一般件名 半導体 , 電子材料 , 分析化学
内容紹介 半導体・電子材料を用いたナノ構造デバイスの研究開発、不具合診断、製造装置の条件出しなどに用いられる種々の分析法の原理・特徴を解説し、応用・分析例を示す。今後の利用が期待される分析・計測法についても取り上げる。
ISBN13桁 978-4-621-08700-8 国立国会図書館 カーリル GoogleBooks WebcatPlus
分類番号 549.8

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