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ULSIデバイス・プロセス技術 利用可

伊藤 隆司／編著 -- 電子情報通信学会 -- 2013.5 -- 549.7

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所蔵館 場所 棚番号 請求記号 資料コード 貸出利用 状態
本館 ４階自然 Map 9 /549.7/ｲﾄ/1064504 1110645040 閲可 貸可 協可 －

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タイトル ULSIデバイス・プロセス技術
著者 伊藤 隆司 ／編著, 菅野 卓雄 ／監修, 電子情報通信学会 ／編  
出版地 東京
出版者 電子情報通信学会
出版年 2013.5
ページ数 7,357p
大きさ 22cm
版表示 新版
一般件名 集積回路
内容紹介 ULSIデバイスの基本であるMOSとバイポーラトランジスタの基礎から、ULSIデバイス構造、プロセス要素技術、信頼性評価技術までを一望できるよう構成。デバイスの発展と、将来の展開を考慮し、全面的に改定した新版。
ISBN13桁 978-4-88552-274-1 国立国会図書館 カーリル GoogleBooks WebcatPlus
分類番号 549.7

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