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ドライプロセスによる表面処理・薄膜形成の基礎 利用可

表面技術協会／編 -- コロナ社 -- 2013.5 -- 566.7

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所蔵館 場所 棚番号 請求記号 資料コード 貸出利用 状態
本館 ４階自然 Map 10 /566.7/ﾄﾗ/1139883 1111398838 閲可 貸可 協可 －

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タイトル ドライプロセスによる表面処理・薄膜形成の基礎
著者 表面技術協会 ／編  
出版地 東京
出版者 コロナ社
出版年 2013.5
ページ数 6,198p
大きさ 21cm
一般件名 金属表面処理 , 薄膜
内容紹介 ドライプロセスの基礎を学ぼうとする初学者のための入門書。ドライプロセスとプラズマに関する概要と歴史的発展過程から、真空とプラズマの基礎、代表的なドライプロセスの原理・原則、薄膜・表面評価分析技術までを解説する。
ISBN13桁 978-4-339-04631-1 国立国会図書館 カーリル GoogleBooks WebcatPlus
分類番号 566.7

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