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半導体工場のすべて 利用可

菊地 正典／著 -- ダイヤモンド社 -- 2012.8 -- 549.8

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所蔵館 場所 棚番号 請求記号 資料コード 貸出利用 状態
本館 ４階自然 Map 9 /549.8/ｷｸ/1049909 1110499095 閲可 貸可 協可 －

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タイトル 半導体工場のすべて
副書名 設備・材料・プロセスから復活の処方箋まで
著者 菊地 正典 ／著  
出版地 東京
出版者 ダイヤモンド社
出版年 2012.8
ページ数 235p
大きさ 21cm
一般件名 半導体
内容紹介 情報化の進んだ現代社会を根底で支えるために不可欠な半導体。最先端の技術やノウハウ、システムの凝縮された半導体工場の構成や機能について、さまざまな視点からわかりやすく解説する。
ISBN13桁 978-4-478-01728-9 国立国会図書館 カーリル GoogleBooks WebcatPlus
分類番号 549.8

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