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はじめての半導体リソグラフィ技術 貸出中

岡崎 信次／著 -- 技術評論社 -- 2012.1 -- 549.7

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所蔵館 場所 棚番号 請求記号 資料コード 貸出利用 状態
本館 ４階自然 9 /549.7/ﾊｼ/1030506 1110305066 閲可 貸可 協可 協力貸出

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タイトル はじめての半導体リソグラフィ技術
叢書名 現場の即戦力
著者 岡崎 信次 ／著, 鈴木 章義 ／著, 上野 巧 ／著  
出版地 東京
出版者 技術評論社
出版年 2012.1
ページ数 10,301p
大きさ 21cm
版注記 工業調査会 2003年刊の改訂
一般件名 リソグラフィー , 半導体
内容紹介 光、電子線、X線・EUVなど様々なリソグラフィ技術の原理、特徴などを述べ、リソグラフィ技術を支えるマスク技術、レジスト技術、計測評価技術についてふれる入門書。液浸露光技術、ダブルパターニング技術を加えた改訂版。
ISBN13桁 978-4-7741-4939-4 国立国会図書館 カーリル GoogleBooks WebcatPlus
分類番号 549.7

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