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はじめての半導体ドライエッチング技術 利用可

野尻 一男／著 -- 技術評論社 -- 2012.1 -- 549.8

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本館 書庫２上 Map B/549.8/ﾉｼ/1030507 1110305075 閲可 貸可 協可 －

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タイトル はじめての半導体ドライエッチング技術
叢書名 現場の即戦力
著者 野尻 一男 ／著  
出版地 東京
出版者 技術評論社
出版年 2012.1
ページ数 8,162p
大きさ 21cm
一般件名 半導体
内容紹介 ドライエッチングのメカニズムを極力数式を使わないで説明した入門書。プロセスから装置、新技術に至るまで系統的に理解できるように解説。ドライエッチング技術の今後の課題と展望についても言及する。
ISBN13桁 978-4-7741-4940-0 国立国会図書館 カーリル GoogleBooks WebcatPlus
分類番号 549.8

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