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はじめての半導体製造装置 利用可

前田 和夫／著 -- 技術評論社 -- 2011.8 -- 549.8

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所蔵館 場所 棚番号 請求記号 資料コード 貸出利用 状態
本館 ４階自然 Map 9 /549.8/ﾏｴ/1022990 1110229901 閲可 貸可 協可 －

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タイトル はじめての半導体製造装置
叢書名 現場の即戦力
著者 前田 和夫 ／著  
出版地 東京
出版者 技術評論社
出版年 2011.8
ページ数 11,249p
大きさ 21cm
版注記 工業調査会 1999年刊の再刊
一般件名 半導体
内容紹介 半導体デバイスの製造工程との関わりから、技術史、種類と役割、構成と方式、各装置の概要まで、半導体製造装置に関わる知識を解説。半導体製造装置技術のロードマップ、21世紀の半導体製造装置なども紹介する。
ISBN13桁 978-4-7741-4750-5 国立国会図書館 カーリル GoogleBooks WebcatPlus
分類番号 549.8

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