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薄膜工学 利用可

金原 粲／監修 -- 丸善出版 -- 2011.6 -- 549.8

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所蔵館 場所 棚番号 請求記号 資料コード 貸出利用 状態
本館 書庫２上 Map B/549.8/ﾊｸ/1021512 1110215129 閲可 貸可 協可 －

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タイトル 薄膜工学
著者 金原 粲 ／監修, 吉田 貞史 ／編著, 近藤 高志 ／編著, 日本学術振興会薄膜第131委員会 ／編集企画  
出版地 東京
出版者 丸善出版
出版年 2011.6
ページ数 12,295p
大きさ 21cm
版表示 第2版
版注記 初版:丸善 2003年刊
一般件名 薄膜
内容紹介 薄膜技術の基本事項から、微細加工技術を用いた2次元・3次元微細構造の導入や基板の大型化・高速化を可能にした装置技術、新しい薄膜作製手法、原子・分子スケールでの測定技術まで、分かりやすく解説する。
ISBN13桁 978-4-621-08414-4 国立国会図書館 カーリル GoogleBooks WebcatPlus
分類番号 549.8

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