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はじめてのMEMS
利用可
江刺 正喜/著 -- 工業調査会 -- 2009.9 -- 530
SDI
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所蔵館
場所
棚番号
請求記号
資料コード
貸出利用
状態
本館
4階自然
Map
6
/530/エサ/975752
1109757526
閲可 貸可 協可
-
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資料詳細
タイトル
はじめてのMEMS
叢書名
ビギナーズブックス
著者
江刺 正喜
/著
出版地
東京
出版者
工業調査会
出版年
2009.9
ページ数
230p
大きさ
21cm
一般件名
マイクロマシン
内容紹介
従来の情報通信機器から、ゲーム機・医療福祉機器分野まで応用分野が拡大しているMEMS(微小機械電気システム)。半導体技術に異分野技術を取り込んだMEMSの基礎から応用までをわかりやすく解説する。
ISBN13桁
978-4-7693-1287-1
分類番号
530
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関連メディア
/T170P55044
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