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    林屋礼二
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はじめてのMEMS 利用可

江刺 正喜／著 -- 工業調査会 -- 2009.9 -- 530

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所蔵館 場所 棚番号 請求記号 資料コード 貸出利用 状態
本館 ４階自然 Map 6 /530/ｴｻ/975752 1109757526 閲可 貸可 協可 －

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タイトル はじめてのMEMS
叢書名 ビギナーズブックス
著者 江刺 正喜 ／著  
出版地 東京
出版者 工業調査会
出版年 2009.9
ページ数 230p
大きさ 21cm
一般件名 マイクロマシン
内容紹介 従来の情報通信機器から、ゲーム機・医療福祉機器分野まで応用分野が拡大しているMEMS(微小機械電気システム)。半導体技術に異分野技術を取り込んだMEMSの基礎から応用までをわかりやすく解説する。
ISBN13桁 978-4-7693-1287-1 国立国会図書館 カーリル GoogleBooks WebcatPlus
分類番号 530

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