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現場のスパッタリング薄膜Q&A 利用可

小島 啓安／著 -- 日刊工業新聞社 -- 2008.8 -- 549.8

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所蔵館 場所 棚番号 請求記号 資料コード 貸出利用 状態
本館 書庫２上 Map B/549.8/ｺｼ/952812 1109528120 閲可 貸可 協可 －

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タイトル 現場のスパッタリング薄膜Q&A
副書名 反応性高速スパッタの実務アドバイス
著者 小島 啓安 ／著  
出版地 東京
出版者 日刊工業新聞社
出版年 2008.8
ページ数 9,384p
大きさ 21cm
一般件名 薄膜 , 真空技術
内容紹介 太陽電池や燃料電池などを作る際に役立つスパッタ技術。反応性高速スパッタに関する現場の悩み・疑問をQ&A形式で解説。実際にスパッタリングを使った薄膜作製の開発現場での失敗談も盛り込む。
ISBN13桁 978-4-526-06119-6 国立国会図書館 カーリル GoogleBooks WebcatPlus
分類番号 549.8

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