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エレクトロニクス薄膜技術 利用可

白木 靖寛／監修 -- シーエムシー出版 -- 2008.5 -- 549.8

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所蔵館 場所 棚番号 請求記号 資料コード 貸出利用 状態
本館 書庫２上 Map B/549.8/ｴﾚ/943426 1109434267 閲可 貸可 協可 －

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タイトル エレクトロニクス薄膜技術
叢書名 CMCテクニカルライブラリー
著者 白木 靖寛 ／監修  
出版地 東京
出版者 シーエムシー出版
出版年 2008.5
ページ数 5,253p
大きさ 21cm
版注記 初版のタイトル:次世代エレクトロニクス薄膜技術
一般件名 薄膜
内容紹介 すでに生産現場に入っているものから、今後導入されると思われる技術、新しい材料開発に威力を発揮する技術まで、エレクトロニクスの発展を支える「薄膜技術」の基礎と応用を解説。薄膜作製の中心的な技術も材料別に記述する。
ISBN13桁 978-4-88231-993-1 国立国会図書館 カーリル GoogleBooks WebcatPlus
分類番号 549.8

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