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電子線リソグラフィ教本
利用可
横山 浩/監修 -- オーム社 -- 2007.6 -- 549.7
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所蔵
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所蔵館
場所
棚番号
請求記号
資料コード
貸出利用
状態
本館
4階自然
Map
9
/549.7/テン/919576
1109195767
閲可 貸可 協可
-
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資料詳細
タイトル
電子線リソグラフィ教本
著者
横山 浩
/監修,
秋永 広幸
/編
出版地
東京
出版者
オーム社
出版年
2007.6
ページ数
13,210p
大きさ
21cm
一般件名
リソグラフィー
,
電子線
内容紹介
「産学連携製造中核人材育成事業」の育成プログラム「電子線リソグラフィ」カリキュラムをもとに構築した実践的なテキスト。電子線リソグラフィの概要、電子線の制御方法や描画技術、レジストなどについて解説。
ISBN13桁
978-4-274-20415-9
分類番号
549.7
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関連メディア
/T170P55044
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