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図解でわかる半導体製造装置 利用可

菊地 正典／監修 -- 日本実業出版社 -- 2007.4 -- 549.8

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所蔵館 場所 棚番号 請求記号 資料コード 貸出利用 状態
本館 ４階自然 Map 9 /549.8/ｽｶ/938150 1109381501 閲可 貸可 協可 －

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タイトル 図解でわかる半導体製造装置
著者 菊地 正典 ／監修  
出版地 東京
出版者 日本実業出版社
出版年 2007.4
ページ数 182p
大きさ 21cm
一般件名 半導体
内容紹介 「半導体製造装置」のしくみとそれを支える技術を解説する。半導体の製造工程の流れと、その各工程で使用される製造装置との関連を明確にしながら説明。装置の構造、操作原理、技術のすべてが理解できる一冊。
ISBN13桁 978-4-534-04217-0 国立国会図書館 カーリル GoogleBooks WebcatPlus
分類番号 549.8

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