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半導体のための真空技術入門 利用可

宇津木 勝／著 -- 工業調査会 -- 2007.2 -- 549.8

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所蔵館 場所 棚番号 請求記号 資料コード 貸出利用 状態
本館 ４階自然 Map 9 /549.8/ｳﾂ/911928 1109119282 閲可 貸可 協可 －

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タイトル 半導体のための真空技術入門
副書名 現場で役立つ基礎と応用
著者 宇津木 勝 ／著  
出版地 東京
出版者 工業調査会
出版年 2007.2
ページ数 219p
大きさ 21cm
一般件名 半導体 , 真空技術
内容紹介 半導体生産にはじめて携わる装置エンジニア、プロセスエンジニアのための入門書。半導体に関わる真空技術を、できるだけ数式を使わず、かつ論理的、体系的に解説し、用語の語源や由来の説明、計算ではその過程も示す。
ISBN13桁 978-4-7693-1262-8 国立国会図書館 カーリル GoogleBooks WebcatPlus
分類番号 549.8

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