日本半導体製造装置協会/編 -- 日刊工業新聞社 -- 2006.9 -- 549.8

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所蔵館 場所 棚番号 請求記号 資料コード 貸出利用 状態
本館 4階自然 Map R8 R/549.8/ニホ/902093 1109020930 閲可 貸否 協否

資料詳細

タイトル 半導体製造装置用語辞典
著者 日本半導体製造装置協会 /編  
出版地 東京
出版者 日刊工業新聞社
出版年 2006.9
ページ数 10,564p
大きさ 21cm
版表示 第6版
一般件名 半導体-辞典
内容紹介 設計、マスク製作、ウェーハ製造、検査、設備・環境工程など、半導体デバイスを製造する7つの工程順に用語を分類・配列。製造フローチャートと各工程毎の用語の構成表も掲載。新しい技術用語を215語追加した第6版。
ISBN 4-526-05740-1 国立国会図書館 カーリル GoogleBooks WebcatPlus
分類番号 549.8