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薄膜作成の基礎 利用可

麻蒔 立男／著 -- 日刊工業新聞社 -- 2005.7 -- 549.8

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所蔵館 場所 棚番号 請求記号 資料コード 貸出利用 状態
本館 ４階自然 Map 9 /549.8/ｱｻ/874980 1108749806 閲可 貸可 協可 －

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タイトル 薄膜作成の基礎
著者 麻蒔 立男 ／著  
出版地 東京
出版者 日刊工業新聞社
出版年 2005.7
ページ数 13,352p
大きさ 21cm
版表示 第4版
一般件名 薄膜 , 真空技術
内容紹介 前半では薄膜を作るために必要な真空技術を理解し、後半で薄膜を作るための技術を多数紹介する。96年刊に次ぐ第4版。
ISBN 4-526-05503-4 国立国会図書館 カーリル GoogleBooks WebcatPlus
分類番号 549.8

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