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プラズマプロセスによる薄膜の基礎と応用 利用可

市村 博司／著 -- 日刊工業新聞社 -- 2005.2 -- 549.8

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所蔵館 場所 棚番号 請求記号 資料コード 貸出利用 状態
本館 ４階自然 Map 9 /549.8/ｲﾁ/866324 1108663247 閲可 貸可 協可 －

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タイトル プラズマプロセスによる薄膜の基礎と応用
著者 市村 博司 ／著, 池永 勝 ／著  
出版地 東京
出版者 日刊工業新聞社
出版年 2005.2
ページ数 9,276p
大きさ 21cm
一般件名 薄膜
内容紹介 材料表面の機能を高めるための薄膜技術は、近年、機械部品、電子部品、光学部品などに応用され、急速に発展している。プラズマプロセスによる薄膜技術の全体像を解説する。
ISBN 4-526-05420-8 国立国会図書館 カーリル GoogleBooks WebcatPlus
分類番号 549.8

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