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ナノテクノロジーと超精密位置決め技術 利用可

大塚 二郎／著 -- 工業調査会 -- 2005.2 -- 532

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所蔵館 場所 棚番号 請求記号 資料コード 貸出利用 状態
本館 ４階自然 Map 6 /532/ｵｵ/866169 1108661690 閲可 貸可 協可 －

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タイトル ナノテクノロジーと超精密位置決め技術
著者 大塚 二郎 ／著  
出版地 東京
出版者 工業調査会
出版年 2005.2
ページ数 189p
大きさ 21cm
一般件名 工作機械 , 自動制御 , ナノテクノロジー
内容紹介 分解能0.2ナノメートルの超精密位置決め装置を実現した著者が、高精度、高速度、コストダウンの各視点から徹底解説。ナノテクノロジーを支援する、超精密位置決めの技術動向、事例研究を掲載する。
ISBN 4-7693-2175-9 国立国会図書館 カーリル GoogleBooks WebcatPlus
分類番号 532

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