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レジスト材料
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伊藤 洋/著 -- 共立出版 -- 2005.2 -- 549.7
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状態
本館
書庫2上
Map
B/549.7/イト/865546
1108655460
閲可 貸可 協可
-
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資料詳細
タイトル
レジスト材料
叢書名
高分子先端材料One Point
著者
伊藤 洋
/著
出版地
東京
出版者
共立出版
出版年
2005.2
ページ数
4,104p
大きさ
19cm
一般件名
リソグラフィー
,
感光性樹脂
内容紹介
高分子材料「レジスト」は、電子機器の高性能化、低価格化に革命をひき起こしている。半導体デバイス製作に使われるレジスト材料の歴史的発展、その化学とプロセスについて概観する。
ISBN
4-320-04372-3
分類番号
549.7
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関連メディア
/T170P55044
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