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進化するマイクロマシン 利用可

マイクロマシンセンター／監修 -- 日刊工業新聞社 -- 2004.11 -- 530

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所蔵館 場所 棚番号 請求記号 資料コード 貸出利用 状態
本館 ４階自然 Map 6 /530/ﾏｲ/861062 1108610628 閲可 貸可 協可 －

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タイトル 進化するマイクロマシン
副書名 産業化のロードマップとナノとの融合
著者 マイクロマシンセンター ／監修, μM産業化研究会 ／編  
出版地 東京
出版者 日刊工業新聞社
出版年 2004.11
ページ数 295p
大きさ 21cm
一般件名 マイクロマシン
内容紹介 マイクロマシン産業化のこれまでの展開や、MEMS・デバイス技術などマイクロマシン技術の現状と展望、ナノテクノロジーとの融合、応用分野の将来展望などから、今後ますます「進化する」マイクロマシン技術を解説。
ISBN 4-526-05227-2 国立国会図書館 カーリル GoogleBooks WebcatPlus
分類番号 530

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