大貫 仁/著 -- 内田老鶴圃 -- 2004.11 -- 549.8

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所蔵館 場所 棚番号 請求記号 資料コード 貸出利用 状態
本館 4階自然 Map 9 /549.8/オオ/860083 1108600837 閲可 貸可 協可

資料詳細

タイトル 半導体材料工学
副書名 材料とデバイスをつなぐ
叢書名 材料学シリーズ
著者 大貫 仁 /著  
出版地 東京
出版者 内田老鶴圃
出版年 2004.11
ページ数 263p
大きさ 21cm
一般件名 半導体
内容紹介 半導体デバイス動作の基礎、デバイスに使用される材料ならびにそのプロセス技術について材料科学的に取り扱ったテキスト。デバイス技術者と材料系技術者の橋渡しを目的にまとめる。
ISBN 4-7536-5623-3 国立国会図書館 カーリル GoogleBooks WebcatPlus
分類番号 549.8