S.M.ジィー/著 -- 産業図書 -- 2004.3 -- 549.8

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所蔵館 場所 棚番号 請求記号 資料コード 貸出利用 状態
本館 4階自然 9 /549.8/シ/865141 1108651415 閲可 貸可 協可 予別

資料詳細

タイトル 半導体デバイス
副書名 基礎理論とプロセス技術
著者 S.M.ジィー /著, 南日 康夫 /訳, 川辺 光央 /訳, 長谷川 文夫 /訳  
出版地 東京
出版者 産業図書
出版年 2004.3
ページ数 499p
大きさ 27cm
版表示 第2版
翻訳原書名注記 原タイトル:Semiconductor devices 原著第2版の翻訳
一般件名 半導体
内容紹介 最近の半導体デバイス物理と作製技術のほとんどを網羅した入門書。デバイス形成の各段階において、評価と作製技術の理論と実際を集積回路に重点をおきつつ詳述。87年刊の第2版。
ISBN 4-7828-5550-8 国立国会図書館 カーリル GoogleBooks WebcatPlus
分類番号 549.8