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半導体デバイス
利用可
S.M.ジィー/著 -- 産業図書 -- 2004.3 -- 549.8
SDI
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所蔵
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所蔵館
場所
棚番号
請求記号
資料コード
貸出利用
状態
本館
4階自然
Map
9
/549.8/シ/865141
1108651415
閲可 貸可 協可
-
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資料詳細
タイトル
半導体デバイス
副書名
基礎理論とプロセス技術
著者
S.M.ジィー
/著,
南日 康夫
/訳,
川辺 光央
/訳,
長谷川 文夫
/訳
出版地
東京
出版者
産業図書
出版年
2004.3
ページ数
499p
大きさ
27cm
版表示
第2版
翻訳原書名注記
原タイトル:Semiconductor devices 原著第2版の翻訳
一般件名
半導体
内容紹介
最近の半導体デバイス物理と作製技術のほとんどを網羅した入門書。デバイス形成の各段階において、評価と作製技術の理論と実際を集積回路に重点をおきつつ詳述。87年刊の第2版。
ISBN
4-7828-5550-8
分類番号
549.8
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関連メディア
/T170P55044
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