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トコトンやさしい超微細加工の本 利用可

麻蒔 立男／著 -- 日刊工業新聞社 -- 2004.1 -- 549

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所蔵館 場所 棚番号 請求記号 資料コード 貸出利用 状態
本館 ４階自然 Map 9 /549/ｱｻ/846240 1108462409 閲可 貸可 協可 －

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タイトル トコトンやさしい超微細加工の本
叢書名 B&Tブックス
著者 麻蒔 立男 ／著  
出版地 東京
出版者 日刊工業新聞社
出版年 2004.1
ページ数 159p
大きさ 21cm
一般件名 電子工学 , ナノテクノロジー
内容紹介 電子デバイスに欠かせないキーテクノロジーであり、ナノテクノロジーの中核技術として注目されている超微細加工について、半導体部品などへの適応を中心に、基礎を図解でやさしく解説する。
ISBN 4-526-05226-4 国立国会図書館 カーリル GoogleBooks WebcatPlus
分類番号 549

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