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薄膜工学 利用可

金原 粲／監修 -- 丸善 -- 2003.3 -- 549.8

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所蔵館 場所 棚番号 請求記号 資料コード 貸出利用 状態
本館 書庫２上 Map B/549.8/ｷﾝ/830102 1108301023 閲可 貸可 協可 －

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タイトル 薄膜工学
著者 金原 粲 ／監修, 白木 靖寛 ／編著, 吉田 貞史 ／編著  
出版地 東京
出版者 丸善
出版年 2003.3
ページ数 310p
大きさ 21cm
一般件名 薄膜
内容紹介 薄膜技術は、非常に基礎的な技術でありながら関係する応用分野が広く、エレクトロニクス技術の最先端を担う技術でもある。薄膜技術の基本事項、最新技術について、産業分野にも生かせる形でわかりやすく解説。
ISBN 4-621-07143-2 国立国会図書館 カーリル GoogleBooks WebcatPlus
分類番号 549.8

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