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光マイクロマシン
利用可
沢田 廉士/共著 -- オーム社 -- 2002.11 -- 549.95
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所蔵
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所蔵館
場所
棚番号
請求記号
資料コード
貸出利用
状態
本館
4階自然
Map
9
/549.95/サワ/824052
1108240527
閲可 貸可 協可
-
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資料詳細
タイトル
光マイクロマシン
著者
沢田 廉士
/共著,
羽根 一博
/共著,
日暮 栄治
/共著
出版地
東京
出版者
オーム社
出版年
2002.11
ページ数
424p
大きさ
22cm
一般件名
オプトエレクトロニクス
,
マイクロマシン
内容紹介
半導体微細加工技術の応用により、急速な発展を遂げているマイクロマシン技術。最新の光マイクロマシンを例に、光学を学ぶとともに、根底にある課題の抽出や、新しい光マイクロマシンの提案、設計ができる基礎を学ぶ。
ISBN
4-274-03589-1
分類番号
549.95
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関連メディア
/T170P55044
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