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真空ハンドブック 利用可

アルバック／編 -- オーム社 -- 2002.7 -- 534.93

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所蔵館 場所 棚番号 請求記号 資料コード 貸出利用 状態
本館 書庫２上 Map B/534.93/ｱﾙ/818028 1108180287 閲可 貸可 協可 －

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タイトル 真空ハンドブック
著者 アルバック ／編  
出版地 東京
出版者 オーム社
出版年 2002.7
ページ数 331p
大きさ 27cm
版表示 新版
一般注記 付:表(4枚)
一般件名 真空技術-便覧
内容紹介 半導体製造、成膜、分析等に係る真空装置の構築・設計の現場で必要となる分野を中心に編集する。超微粒子、カーボンナノチューブの節を新しく設け、日本工業規格の改訂等に対応した92年刊の新版。
ISBN 4-274-08727-1 国立国会図書館 カーリル GoogleBooks WebcatPlus
分類番号 534.93

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