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    米村でんじろう
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超微細加工の基礎 利用可

麻蒔 立男／著 -- 日刊工業新聞社 -- 2001.9 -- 549.8

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本館 ４階自然 Map 9 /549.8/ｱｻ/803742 1108037422 閲可 貸可 協可 －

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タイトル 超微細加工の基礎
副書名 電子デバイスプロセス技術
著者 麻蒔 立男 ／著  
出版地 東京
出版者 日刊工業新聞社
出版年 2001.9
ページ数 295p
大きさ 21cm
版表示 第2版
一般件名 半導体
内容紹介 半導体部品の製造に使われる加工技術には、非常に多くの微細加工技術が集成され成り立っている。より要求が高まり、加工上の課題も多い超微細加工技術の基礎から応用を平易に解説。93年刊の第2版。
ISBN 4-526-04812-7 国立国会図書館 カーリル GoogleBooks WebcatPlus
分類番号 549.8

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