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半導体製造装置用語辞典 利用可

日本半導体製造装置協会／編 -- 日刊工業新聞社 -- 2000.11 -- 549.8

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本館 書庫２上 Map B/549.8/ﾆﾎ/789802 1107898024 閲可 貸可 協可 －

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タイトル 半導体製造装置用語辞典
著者 日本半導体製造装置協会 ／編  
出版地 東京
出版者 日刊工業新聞社
出版年 2000.11
ページ数 588p
大きさ 22cm
版表示 第5版
一般件名 半導体-辞典
内容紹介 半導体産業の発展は日本の産業基盤強化に大きく寄与し、経済への波及効果も非情に大きい。急速な技術進展を背景に、21世紀の新技術に適用できる用語辞典をめざす。97年刊に次ぐ改訂第5版。
ISBN 4-526-04666-3 国立国会図書館 カーリル GoogleBooks WebcatPlus
分類番号 549.8

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