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半導体結晶成長
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大野 英男/編著 -- コロナ社 -- 1999.2 -- 549.8
SDI
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本館
書庫2上
Map
B/549.8/オオ/764623
1107646232
閲可 貸可 協可
-
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資料詳細
タイトル
半導体結晶成長
著者
大野 英男
/編著
出版地
東京
出版者
コロナ社
出版年
1999.2
ページ数
265p
大きさ
22cm
一般件名
半導体
,
結晶成長
内容紹介
1.走査型トンネル顕微鏡によるシリコン固相エピタキシー過程のその場観察 2.Si-Ge系のCVDエピタキシーと原子層成長制御 3.GaAsの単分子成長機構 ほか8章
ISBN
4-339-00704-8
分類番号
549.8
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関連メディア
/T170P55044
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