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電子・イオンビームハンドブック 利用可

日本学術振興会第132委員会／編 -- 日刊工業新聞社 -- 1998.10 -- 549.1

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所蔵館 場所 棚番号 請求記号 資料コード 貸出利用 状態
本館 ４階自然 Map R8 R/549.03/ﾆﾎ/759825 1107598251 閲可 貸否 協否 －

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タイトル 電子・イオンビームハンドブック
著者 日本学術振興会第132委員会 ／編  
出版地 東京
出版者 日刊工業新聞社
出版年 1998.10
ページ数 963p
大きさ 22cm
版表示 第3版
一般件名 電子線-便覧 , イオンビーム-便覧
内容紹介 ある特定の方向に有限断面を保って移動する電子またはイオンの集団である電子・イオンビーム。その軌道論、空間電荷効果と走行時間効果、照射効果、加工、リソグラフィなどについて解説する。73年刊の第3版。
ISBN 4-526-04247-1 国立国会図書館 カーリル GoogleBooks WebcatPlus
分類番号 549.1

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