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半導体製造装置用語辞典 利用可

日本半導体製造装置協会／編 -- 日刊工業新聞社 -- 1997.11 -- 549.8

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本館 書庫２上 Map B/549.8/ﾆﾎ/741318 1107413188 閲可 貸可 協可 －

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タイトル 半導体製造装置用語辞典
著者 日本半導体製造装置協会 ／編  
出版地 東京
出版者 日刊工業新聞社
出版年 1997.11
ページ数 547p
大きさ 22cm
版表示 第4版
一般件名 半導体-辞典
内容紹介 最近のLSI・超LSI製造技術、デバイス開発の目ざましい進歩や環境保護への取り組みの強化など、時代の要請を反映し、新用語の追加、内容の洗練を図った最新知識充実の辞典。
ISBN 4-526-04090-8 国立国会図書館 カーリル GoogleBooks WebcatPlus
分類番号 549.8

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