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超高真空 利用可

清水 肇／[ほか]編著 -- オーム社 -- 1997.11 -- 534.93

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所蔵館 場所 棚番号 請求記号 資料コード 貸出利用 状態
本館 書庫２上 Map B/534.93/ｼﾐ/740549 1107405490 閲可 貸可 協可 －

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タイトル 超高真空
叢書名 テクノライフ選書
著者 清水 肇 ／[ほか]編著  
出版地 東京
出版者 オーム社
出版年 1997.11
ページ数 141p
大きさ 19cm
一般件名 真空技術
内容紹介 加速器、核融合といったビッグサイエンスから電子デバイスの開発、表面科学などたくさんの研究開発を支える基盤技術-超高真空。エレクトロニクス分野で不可欠となった超高真空の技術と新発見を解き明かす。
ISBN 4-274-02360-5 国立国会図書館 カーリル GoogleBooks WebcatPlus
分類番号 534.93

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