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ULSIプロセス技術
利用可
原 央/編 -- 培風館 -- 1997.6 -- 549.7
SDI
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所蔵
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所蔵館
場所
棚番号
請求記号
資料コード
貸出利用
状態
本館
4階自然
Map
9
/549.7/ハラ/731806
1107318062
閲可 貸可 協可
-
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資料詳細
タイトル
ULSIプロセス技術
叢書名
アドバンストエレクトロニクスシリーズ
著者
原 央
/編
出版地
東京
出版者
培風館
出版年
1997.6
ページ数
286p
大きさ
22cm
一般件名
集積回路
内容紹介
再先端の集積回路を実現するために必要な広範囲なプロセス技術に関する解説書。はじめに素子構造とプロセスの概略を説明、次に微細加工、薄膜堆積、酸化膜など各プロセス技術ごとに詳細に説明、最後に将来動向に触れる。
ISBN
4-563-03617-X
分類番号
549.7
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関連メディア
/T170P55044
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