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超微細加工技術 利用可

徳山 巍／編著 -- オーム社 -- 1997.2 -- 549.8

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所蔵館 場所 棚番号 請求記号 資料コード 貸出利用 状態
本館 ４階自然 Map 9 /549.7/ﾄｸ/719654 1107196540 閲可 貸可 協可 －

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タイトル 超微細加工技術
叢書名 応用物理学シリーズ
著者 徳山 巍 ／編著  
出版地 東京
出版者 オーム社
出版年 1997.2
ページ数 309p
大きさ 22cm
一般件名 半導体
内容紹介 1.序論 2.光リソグラフィ技術 3.電子線リソグラフィ技術 4.イオンビームリソグラフィ技術 5.X線リソグラフィ技術 6.レジスト材料 7.エッチング技術 8.形状シミュレーション技術 ほか1章
ISBN 4-274-02332-X 国立国会図書館 カーリル GoogleBooks WebcatPlus
分類番号 549.8

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