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薄膜作成の基礎
利用可
麻蒔 立男/著 -- 日刊工業新聞社 -- 1996.3 -- 549.8
SDI
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状態
本館
書庫2上
Map
B/549.8/アサ/697905
1106979057
閲可 貸可 協可
-
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資料詳細
タイトル
薄膜作成の基礎
著者
麻蒔 立男
/著
出版地
東京
出版者
日刊工業新聞社
出版年
1996.3
ページ数
357,4p
大きさ
21cm
版表示
第3版
一般件名
薄膜
,
真空技術
内容紹介
前半では薄膜を作るために必要な真空技術を理解し、後半で薄膜を作るための技術を多数紹介する。1977年刊の第3版。
ISBN
4-526-03831-8
分類番号
549.8
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関連メディア
/T170P55044
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