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超LSIプロセス制御工学 利用可

津屋 英樹／著 -- 丸善 -- 1995.3 -- 549.7

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本館 書庫２上 Map B/549.7/ﾂﾔ/674011 1106740113 閲可 貸可 協可 －

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タイトル 超LSIプロセス制御工学
著者 津屋 英樹 ／著  
出版地 東京
出版者 丸善
出版年 1995.3
ページ数 313p
大きさ 22cm
一般件名 集積回路
内容紹介 材料・プロセス技術を欠陥制御という観点から述べる。欠陥の本質をおさえた上で、基本的にどんな問題が潜んでいるのか、これまでどう克服されてきたのかを多くの実例を通して解説。材料・プロセス・デバイスの各分野・量産技術に携わる技術者や研究者必携。
ISBN 4-621-04047-2 国立国会図書館 カーリル GoogleBooks WebcatPlus
分類番号 549.7

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