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ULSIデバイス・プロセス技術 利用可

伊藤 隆司／編著 -- 電子情報通信学会 -- 1995.2 -- 549.7

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本館 書庫２上 Map B/549.7/ｲﾄ/671149 1106711499 閲可 貸可 協可 －

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タイトル ULSIデバイス・プロセス技術
著者 伊藤 隆司 ／編著, 電子情報通信学会 ／編  
出版地 東京
出版者 電子情報通信学会
出版年 1995.2
ページ数 322p
大きさ 22cm
一般注記 監修:菅野卓雄
一般件名 集積回路
内容紹介 ULSIデバイスの基本であるMOSとバイポーラトランジスタの基礎から、ULSIデバイス構造およびプロセス要素技術を経て製造過程が一望できるよう構成。普遍的事項を重視しつつ、今後進むべき方向についても言及する。
ISBN 4-88552-126-2 国立国会図書館 カーリル GoogleBooks WebcatPlus
分類番号 549.7

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