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半導体製造の技術開発 利用可

坂野 進／[ほか]編集 -- 日本規格協会 -- 1994.10 -- 549.8

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所蔵館 場所 棚番号 請求記号 資料コード 貸出利用 状態
本館 書庫２上 Map B/549.8/ﾀｸﾞ/664623 1106646238 閲可 貸可 協可 －

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タイトル 半導体製造の技術開発
叢書名 品質工学応用講座
著者 坂野 進 ／[ほか]編集  
出版地 東京
出版者 日本規格協会
出版年 1994.10
ページ数 366p
大きさ 21cm
一般件名 半導体 , 品質管理
内容紹介 品質工学の全体像を広く普及し、品質工学に初めて接する読者に品質工学を体系的に理解してもらうことを狙ったシリーズの1冊。今回は品質工学の考え方を半導体製造に適用した種々の事例をまとめたものである。
ISBN 4-542-51110-3 国立国会図書館 カーリル GoogleBooks WebcatPlus
分類番号 549.8

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