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低温プラズマ材料化学 利用可

長田 義仁／編著 -- 産業図書 -- 1994.3 -- 501.4

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本館 書庫２上 Map B/501.4/ｵｻ/647847 1106478473 閲可 貸可 協可 －

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タイトル 低温プラズマ材料化学
著者 長田 義仁 ／編著  
出版地 東京
出版者 産業図書
出版年 1994.3
ページ数 296p
大きさ 22cm
一般件名 工業材料 , プラズマ物理学
内容紹介 1.低温プラズマによる物質創製の意義 2.プラズマの化学 3.プラズマCVD 4.イオンプレーティング 5.スパッタリング 6.プラズマ重合 7.プラズマ表面処理 8.プラズマエッチング
ISBN 4-7828-2053-4 国立国会図書館 カーリル GoogleBooks WebcatPlus
分類番号 501.4

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