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半導体シリコン結晶工学 利用可

志村 史夫／著 -- 丸善 -- 1993.9 -- 549.8

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所蔵館 場所 棚番号 請求記号 資料コード 貸出利用 状態
本館 書庫２上 Map B/549.8/ｼﾑ/634793 1106347936 閲可 貸可 協可 －

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タイトル 半導体シリコン結晶工学
著者 志村 史夫 ／著  
出版地 東京
出版者 丸善
出版年 1993.9
ページ数 424p
大きさ 22cm
一般件名 シリコン(半導体)
内容紹介 半導体材料の基本であるシリコン結晶の工学を基礎から応用まで一貫して述べたものである。著者のデバイスメーカ・材料メーカ・大学の三者での研究生活を生かし、デバイスと材料の相関を意識した内容となっている。
ISBN 4-621-03876-1 国立国会図書館 カーリル GoogleBooks WebcatPlus
分類番号 549.8

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