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超微細加工の基礎 利用可

麻蒔 立男／著 -- 日刊工業新聞社 -- 1993.3 -- 549.8

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本館 書庫２上 Map B/549.8/ｱｻ/621049 1106210494 閲可 貸可 協可 －

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タイトル 超微細加工の基礎
副書名 半導体製造技術
著者 麻蒔 立男 ／著  
出版地 東京
出版者 日刊工業新聞社
出版年 1993.3
ページ数 261,4p
大きさ 21cm
一般件名 半導体
内容紹介 超微細加工技術は、非常に多くの技術が集成されて成り立っている。本書は、これらの技術の基礎を平易に解説した入門書である。
ISBN 4-526-03284-0 国立国会図書館 カーリル GoogleBooks WebcatPlus
分類番号 549.8

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