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スパッタ薄膜
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小林 春洋/著 -- 日刊工業新聞社 -- 1993.2 -- 549
SDI
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所蔵館
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棚番号
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貸出利用
状態
本館
4階自然
Map
9
/549/コバ/619061
1106190613
閲可 貸可 協可
-
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資料詳細
タイトル
スパッタ薄膜
副書名
基礎と応用
著者
小林 春洋
/著
出版地
東京
出版者
日刊工業新聞社
出版年
1993.2
ページ数
172,7p
大きさ
21cm
一般件名
薄膜
内容紹介
低気圧希ガス(主にアルゴン)放電によるスパッタ方式で作られる薄膜は、デバイスその他において大変重要になってきている。あいまいな経験による作成基準ではなく、理論的なスパッタ条件をもとめ、技術者、大学生におくる。
ISBN
4-526-03273-5
分類番号
549
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関連メディア
/T170P55044
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