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デバイスプロセス
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河東田 隆/著 -- 培風館 -- 1993.1 -- 549.8
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本館
書庫2上
Map
B/549.8/カト/621916
1106219168
閲可 貸可 協可
-
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資料詳細
タイトル
デバイスプロセス
叢書名
電子・情報工学講座
著者
河東田 隆
/著
出版地
東京
出版者
培風館
出版年
1993.1
ページ数
228p
大きさ
22cm
一般件名
半導体
内容紹介
1.主な半導体デバイスの製作プロセス 2.バルク結晶の成長 3.エピタキシャル成長技術 4.ウエハの加工と表面処理 5.絶縁膜の形成 6.不純物拡散とイオン注入 7.微細パターンの形成 8.電極と配線の形成および実装 ほか6章
ISBN
4-563-03342-1
分類番号
549.8
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関連メディア
/T170P55044
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