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半導体ドライエッチング技術 利用可

徳山 巍／編著 -- 産業図書 -- 1992.10 -- 549.7

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本館 書庫２上 Map B/549.7/ﾄｸ/609394 1106093941 閲可 貸可 協可 －

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タイトル 半導体ドライエッチング技術
叢書名 集積回路プロセス技術シリーズ
著者 徳山 巍 ／編著  
出版地 東京
出版者 産業図書
出版年 1992.10
ページ数 394p
大きさ 22cm
一般件名 集積回路
内容紹介 1.序論 2.超LSI技術とドライエッチング 3.ドライエッチングの基礎 4.最新のドライエッチング技術(シリコン) 5.最新のドライエッチング技術(化合物半導体) 6.ドライエッチングとレジスト技術 ほか5章
ISBN 4-7828-5628-8 国立国会図書館 カーリル GoogleBooks WebcatPlus
分類番号 549.7

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