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薄膜化技術
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和佐 清孝/著 -- 共立出版 -- 1992.9 -- 549.8
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状態
本館
書庫2上
Map
B/549.8/ワサ/606008
1106060083
閲可 貸可 協可
-
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資料詳細
タイトル
薄膜化技術
著者
和佐 清孝
/著,
早川 茂
/著
出版地
東京
出版者
共立出版
出版年
1992.9
ページ数
282p
大きさ
22cm
版表示
第2版
一般件名
薄膜
内容紹介
ここ10年間「薄膜化技術」の進展は著しく、21世紀にかけての基幹科学技術としても不可欠の存在になった。今回の改訂版では、「薄膜化技術」の古い技術分野を削除するとともに、ペロブスカイト層状薄膜や人工超格子などについて追加増補している。
ISBN
4-320-08497-7
分類番号
549.8
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関連メディア
/T170P55044
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