和佐 清孝/著 -- 共立出版 -- 1992.9 -- 549.8

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本館 書庫2上 Map B/549.8/ワサ/606008 1106060083 閲可 貸可 協可

資料詳細

タイトル 薄膜化技術
著者 和佐 清孝 /著, 早川 茂 /著  
出版地 東京
出版者 共立出版
出版年 1992.9
ページ数 282p
大きさ 22cm
版表示 第2版
一般件名 薄膜
内容紹介 ここ10年間「薄膜化技術」の進展は著しく、21世紀にかけての基幹科学技術としても不可欠の存在になった。今回の改訂版では、「薄膜化技術」の古い技術分野を削除するとともに、ペロブスカイト層状薄膜や人工超格子などについて追加増補している。
ISBN 4-320-08497-7 国立国会図書館 カーリル GoogleBooks WebcatPlus
分類番号 549.8